GB/T 29505-2013《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》

Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。

主要起草人孙燕、李莉、卢立延、翟富义、向磊。

基础信息

标准号：GB/T 29505-2013发布日期：2013-05-09实施日期：2014-02-01标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人

孙燕李莉向磊卢立延翟富义

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