GB/T 26069-2022《硅单晶退火片》

Annealed monocrystalline silicon wafers

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《硅单晶退火片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江众晶电子有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、开化县检验检测研究院、浙江中晶科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、中环领先半导体材料有限公司。

主要起草人孙燕、宁永铎、楼春兰、陈锋、黄笑容、王振国、张海英、潘金平、由佰玲。

基础信息

标准号：GB/T 26069-2022发布日期：2022-03-09实施日期：2022-10-01全部代替标准：GB/T 26069-2010标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体硅材料股份公司浙江众晶电子有限公司开化县检验检测研究院浙江金瑞泓科技股份有限公司中环领先半导体材料有限公司山东有研半导体材料有限公司洛阳鸿泰半导体有限公司浙江中晶科技股份有限公司浙江海纳半导体有限公司

起草人

孙燕宁永铎黄笑容王振国由佰玲楼春兰陈锋张海英潘金平

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