GB/T 20230-2022《磷化铟单晶》

Indium phosphide single crystal

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《磷化铟单晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国电子科技集团公司第十三研究所、云南鑫耀半导体材料有限公司、广东先导微电子科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

主要起草人孙聂枫、李晓岚、王阳、刘惠生、惠峰、李素青、朱刘、王书杰、邵会民、周铁军、史艳磊、付莉杰、王博、张晓丹、姜剑、王宇。

基础信息

标准号：GB/T 20230-2022发布日期：2022-03-09实施日期：2022-10-01全部代替标准：GB/T 20230-2006标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所广东先导微电子科技有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司云南鑫耀半导体材料有限公司有研国晶辉新材料有限公司

起草人

孙聂枫李晓岚惠峰李素青邵会民周铁军王博张晓丹王阳刘惠生朱刘王书杰史艳磊付莉杰姜剑王宇

相近标准(计划)

20240138-T-469 氮化铝单晶抛光片GB/T 36706-2018 磷化铟多晶20241911-T-469 太阳能电池用硅单晶及硅单晶片SJ/T 11489-2015 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法JB/T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉20250748-T-609 金刚石单晶片20241932-T-469 碳化硅单晶GB/T 5238-2019 锗单晶和锗单晶片20250093-T-469 氮化铝单晶复合衬底20243062-T-469 金刚石单晶抛光片

上一篇： 蜂胶中12种酚类化合物含量的测定液相色谱-串联质谱法和液相色谱法

下一篇： 机械产品三维工艺设计第1部分：术语和定义