GB/T 42676-2023《半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》

Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、北京通美晶体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料（包头）有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司。

主要起草人何烜坤、刘立娜、李素青、庞越、马春喜、许蓉、任殿胜、王元立、朱晓彤、李向宇、杨阳、潘金平、王书明、赵松彬、林泉、李国平、张新峰、赵丽丽、夏秋良。

基础信息

标准号：GB/T 42676-2023发布日期：2023-08-06实施日期：2024-03-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所北京通美晶体技术股份有限公司弘元新材料（包头）有限公司浙江海纳半导体股份有限公司丹东新东方晶体仪器有限公司江苏卓远半导体有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司山东有研半导体材料有限公司哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司国标（北京）检验认证有限公司有研国晶辉新材料有限公司新美光（苏州）半导体科技有限公司

起草人

何烜坤刘立娜马春喜许蓉朱晓彤李向宇王书明赵松彬张新峰赵丽丽李素青庞越任殿胜王元立杨阳潘金平林泉李国平夏秋良

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