GB/T 13387-1992《电子材料晶片参考面长度测量方法》

Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：废止

国家标准《电子材料晶片参考面长度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位北京有色金属研究总院。

基础信息

标准号：GB/T 13387-1992发布日期：1992-02-19实施日期：1992-10-01废止日期：2010-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H21归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用ITU国际标准：ASTM F671:1983。采标中文名称:。

起草单位

北京有色金属研究总院

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