GB/T 14144-1993《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》

Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：废止

国家标准《硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中科院上海冶金研究所。

基础信息

标准号：GB/T 14144-1993发布日期：1993-02-06实施日期：1993-10-01废止日期：2010-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H26归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F951:1987。采标中文名称:。

起草单位

中科院上海冶金研究所

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