GB/T 14140.1-1993《硅片直径测量方法光学投影法》

Silicon slices and wafers--Measuring of diameter--Optical projecting method

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：废止

国家标准《硅片直径测量方法光学投影法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位洛阳单晶硅厂。

基础信息

标准号：GB/T 14140.1-1993发布日期：1993-02-06实施日期：1993-10-01废止日期：2010-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040.01 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F613:1987。采标中文名称:。

起草单位

洛阳单晶硅厂

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