Terminology for vacuum technology
标准类型：国家标准
标准属性：推荐性
标准状态：废止
国家标准《真空技术术语》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位沈阳真空技术研究所。
标准号：GB/T 3163-1993发布日期：1993-12-27实施日期：1994-08-01废止日期：2008-06-01标准类别：基础中国标准分类号：J78国际标准分类号：23.160 归口单位：全国真空技术标准化技术委员会执行单位：全国真空技术标准化技术委员会主管部门：中国机械工业联合会
本标准非等效采用ISO国际标准：ISO 3529:1981。采标中文名称:。
沈阳真空技术研究所
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