GB/T 1558-1997《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》

Test method for substitutional atomic carbon content of silicon by infrared absorption

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：废止

国家标准《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位峨嵋半导体材料厂。

基础信息

标准号：GB/T 1558-1997发布日期：1997-12-22实施日期：1998-08-01废止日期：2010-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等效采用ITU国际标准：ASTM F123:1991。采标中文名称:。

起草单位

峨嵋半导体材料厂

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