GB/T 16878-1997《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》

Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《用于集成电路制造技术的检测图形单元规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国科学院缩微电子中心。

基础信息

标准号：GB/T 16878-1997发布日期：1997-06-20实施日期：1998-03-01标准类别：基础中国标准分类号：L97国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用其他国际标准：SEMI P19:1992。采标中文名称:。

起草单位

中国科学院缩微电子中心

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