GB/T 17864-1999《关键尺寸（CD）计量方法》

CD Metrology procedures

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《关键尺寸（CD）计量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC4（全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国科学院微电子中心。

基础信息

标准号：GB/T 17864-1999发布日期：1999-09-13实施日期：2000-06-01标准类别：方法中国标准分类号：L56国际标准分类号：31.200 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用其他国际标准：SEMI P24:1994。采标中文名称:。

起草单位

中国科学院微电子中心

相近标准(计划)

20231337-T-469 微束分析扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法JB/T 5900-1991 通用锻制模块毛坯尺寸及计量方法20243201-T-607 柑桔属精油紫外吸收光谱分析法测定CD值SJ/T 11001-2023 电子元器件详细规范 CD291、CD292、CD293 型固定铝电解电容器评定水平EGB/T 33663-2017 只读类出版物光盘CD、DVD常规检测参数GB/T 33664-2017 CD、DVD类出版物光盘复制质量检验评定规范GB/T 16969-1997 信息技术只读120mm数据光盘（CD-ROM）的数据交换GB/T 16970-1997 信息技术信息交换用只读光盘存储器（CD-ROM）的盘卷和文卷结构GB/T 33662-2017 可录类出版物光盘CD-R、DVD-R、DVD+R常规检测参数GB/T 9110-1988 原油立式金属罐计量油量计量方法

上一篇： 计算机信息系统安全保护等级划分准则

下一篇： 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则