The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
标准类型：国家标准
标准属性：推荐性
标准状态：现行
国家标准《砷化镓单晶AB微缺陷检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位北京有色金属研究总院。
标准号：GB/T 18032-2000发布日期：2000-04-03实施日期：2000-09-01标准类别：方法中国标准分类号：H24国际标准分类号：77.040.01 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
北京有色金属研究总院
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