GB/T 44375-2024《300mm半导体设备装载端口要求》

Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《300mm半导体设备装载端口要求》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位上海微电子装备（集团）股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、漳州市太龙照明工程有限公司、深圳市埃芯半导体科技有限公司、苏州镁伽科技有限公司、中电鹏程智能装备有限公司。

主要起草人胡松立、李运锋、吴怡然、曹可慰、赵俊莎、周晓锋、李殿浦、武小娟、朱明、李英、张宝帅、洪峰、张志勇、乔志新、王鸣昕。

基础信息

标准号：GB/T 44375-2024发布日期：2024-08-23实施日期：2025-03-01标准类别：基础中国标准分类号：L97国际标准分类号：31.260 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

上海微电子装备（集团）股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司漳州市太龙照明工程有限公司苏州镁伽科技有限公司中国电子技术标准化研究院中微半导体设备(上海)股份有限公司深圳市埃芯半导体科技有限公司中电鹏程智能装备有限公司

起草人

胡松立李运锋赵俊莎周晓锋朱明李英张志勇乔志新吴怡然曹可慰李殿浦武小娟张宝帅洪峰王鸣昕

相近标准(计划)

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