GB/T 31987-2015《电子工业用气体锗烷》

Gas for electronic industry—Germane

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《电子工业用气体锗烷》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院。

主要起草人方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云。

基础信息

标准号：GB/T 31987-2015发布日期：2015-09-11实施日期：2016-05-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

上海华爱色谱分析技术有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司西南化工研究设计院佛山市华特气体有限公司国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)

起草人

方华裴友宏陈熔周鹏云郭秀丽林宇巍

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