GB/T 32386-2015《电子工业用气体六氟化钨》

Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《电子工业用气体六氟化钨》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。

主要起草人郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨仁、周鹏云。

基础信息

标准号：GB/T 32386-2015发布日期：2015-12-31实施日期：2016-07-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所西南化工研究设计院有限公司上海仪盟电子科技有限公司厦门钨业股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

郑秋艳江海风林竹光王志信周鹏云王占卫方兰兰方华杨仁

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