GB/T 34178-2017《光掩模石英玻璃基板》

Silica glass substrates for photomask

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《光掩模石英玻璃基板》由TC447（全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会）归口，主管部门为中国建筑材料联合会。

主要起草单位中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。

主要起草人吴洁、王京侠、王友军、李弋舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语。

基础信息

标准号：GB/T 34178-2017发布日期：2017-09-07实施日期：2018-08-01标准类别：产品中国标准分类号：Q35国际标准分类号：81.040.30 归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会执行单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会主管部门：中国建筑材料联合会

起草单位

中国建材检验认证集团股份有限公司长沙韶光铬版有限公司国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心中建材衢州金格兰石英有限公司中国建筑材料科学研究总院

起草人

吴洁王京侠花宁刘焕敏张浩运杨晓会张应语王友军李弋舟肖颂华聂兰舰杨学东孔敏

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