GB/T 34899-2017《微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中北大学、中机生产力促进中心。

主要起草人石云波、唐军、程红兵、崔建功、李海斌、朱悦。

基础信息

标准号：GB/T 34899-2017发布日期：2017-11-01实施日期：2018-05-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中北大学中机生产力促进中心

起草人

石云波唐军李海斌朱悦程红兵崔建功

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