GB/T 34971-2017《半导体制造用气体处理指南》

Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院。

主要起草人孙福楠、牛艳东、廖恒易、杜汉盛、王鸿、方华、陈鹰、周鹏云。

基础信息

标准号：GB/T 34971-2017发布日期：2017-11-01实施日期：2018-02-01标准类别：基础中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中昊光明化工研究设计院有限公司高麦仪器公司东莞市联臣电子科技有限公司上海市计量测试技术研究院西南化工研究设计院有限公司广东华特气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

孙福楠牛艳东王鸿方华廖恒易杜汉盛陈鹰周鹏云

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