GB/T 36646-2018《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》

Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。

主要起草人刘鹏、孙永健、丁晓民、冯亚彬、王健辉。

基础信息

标准号：GB/T 36646-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-01-01标准类别：产品中国标准分类号：L95国际标准分类号：31.220 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司中国电子技术标准化研究院

起草人

刘鹏孙永健王健辉丁晓民冯亚彬

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