GB/T 12964-2018《硅单晶抛光片》

Monocrystalline silicon polished wafers

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司。

主要起草人孙燕、卢立延、徐新华、张海英、楼春兰、杨素心、潘金平、张雪囡。

基础信息

标准号：GB/T 12964-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-06-01全部代替标准：GB/T 12964-2003标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司浙江省硅材料质量检验中心天津市环欧半导体材料技术有限公司上海合晶硅材料有限公司浙江海纳半导体有限公司有色金属技术经济研究院

起草人

孙燕卢立延楼春兰杨素心徐新华张海英潘金平张雪囡

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