GB/T 37053-2018《氮化镓外延片及衬底片通用规范》

General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《氮化镓外延片及衬底片通用规范》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位东莞市中镓半导体科技有限公司、合肥彩虹蓝光科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院、中国电子技术标准化研究院。

主要起草人丁晓民、刘南柳、潘尧波、徐科、修向前、孙永健、王香、张国义。

基础信息

标准号：GB/T 37053-2018发布日期：2018-12-28实施日期：2019-07-01标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

东莞市中镓半导体科技有限公司苏州纳维科技有限公司中国电子技术标准化研究院合肥彩虹蓝光科技有限公司南京大学电子科学与工程学院

起草人

丁晓民刘南柳修向前孙永健潘尧波徐科王香张国义

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