GB/T 44926-2024《纳米技术微区表面及亚表面表征光学暗场共焦显微法》

Nanotechnologies—Characterization of micro surface and sub surface—Optical dark-field confocal microscopy

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：即将实施

国家标准《纳米技术微区表面及亚表面表征光学暗场共焦显微法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。

主要起草单位哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心。

主要起草人刘俭、施玉书、刘辰光、张树、胡旭、张云龙、李冬梅、冯慧。

基础信息

标准号：GB/T 44926-2024发布日期：2024-12-31实施日期：2025-07-01标准类别：方法中国标准分类号：N51国际标准分类号：17.040.30 归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会执行单位：全国纳米技术标准化技术委员会主管部门：中国科学院

起草单位

哈尔滨工业大学昆明物理研究所北京微电子技术研究所中国计量科学研究院西安应用光学研究所航天科工防御技术研究试验中心

起草人

刘俭施玉书胡旭张云龙刘辰光张树李冬梅冯慧

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