GB/T 38447-2020《微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。

主要起草人张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民。

基础信息

标准号：GB/T 38447-2020发布日期：2020-03-06实施日期：2020-07-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

北京大学北京智芯传感科技有限公司浙江博亚精密机械有限公司北京必创科技股份有限公司中机生产力促进中心沈阳国仪检测技术有限公司中北大学

起草人

张威张亚婷朱悦石云波周浩楠陈得民于振毅陆学贵李海斌程逸轩

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