GB/T 38614-2020《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》

Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法》由TC153（全国电子测量仪器标准化技术委员会）归口，主管部门为工业和信息化部（电子）。

主要起草单位沈阳建筑大学、三英精控（天津）仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学。

主要起草人须颖、戴敬、邵萌、安冬、施玉书、贾静、戴超、文杰、石怀涛。

基础信息

标准号：GB/T 38614-2020发布日期：2020-04-28实施日期：2020-11-01标准类别：方法中国标准分类号：N10国际标准分类号：01.040.39 归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会执行单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会主管部门：工业和信息化部（电子）

起草单位

沈阳建筑大学广东工业大学苏州昊通仪器科技有限公司三英精控（天津）仪器设备有限公司中国计量科学研究院沈阳理工大学

起草人

须颖戴敬施玉书贾静石怀涛邵萌安冬戴超文杰

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