GB/T 40566-2021《流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》

Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method

标准类型：国家标准

标准属性：推荐性

标准状态：现行

国家标准《流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位无锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、无锡市分析测试学会、中国电子技术标准化研究院、无锡市计量测试院、乐山市产品质量监督检验所、洛阳中硅高科技有限公司、中节能太阳能科技（镇江）有限公司、集萃新材料研发有限公司、常州大学、福建省计量科学研究院、上海材料研究所、苏州博飞克分析技术服务有限公司。

主要起草人何莉、杨君、王美娟、蒋威、丁彬斌、鲍军、刘晓霞、鲁文锋、王旭辉、王彬、王赶强、梁洪、楚东旭、邱艳梅、马昀锋、黄国平、王桃霞、薛小强、罗海燕、马冲先、何永强。

基础信息

标准号：GB/T 40566-2021发布日期：2021-10-11实施日期：2022-05-01标准类别：方法中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

无锡市产品质量监督检验院青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司新疆新特新能材料检测中心有限公司中国电子技术标准化研究院乐山市产品质量监督检验所中节能太阳能科技（镇江）有限公司常州大学上海材料研究所上海赛夫特半导体材料有限公司江苏中能硅业科技发展有限公司无锡市分析测试学会无锡市计量测试院洛阳中硅高科技有限公司集萃新材料研发有限公司福建省计量科学研究院苏州博飞克分析技术服务有限公司

起草人

何莉杨君丁彬斌鲍军王旭辉王彬楚东旭邱艳梅王桃霞薛小强何永强王美娟蒋威刘晓霞鲁文锋王赶强梁洪马昀锋黄国平罗海燕马冲先

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